中古 ULVAC Entron #9041421 を販売中
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販売された
ID: 9041421
Physical vapor deposition system, 12"
SMIF: no
Wafer type: notch
Software OS: UNIX
2004 vintage.
ULVAC Entron(アルバックエントロン)は、真空処理装置を専門とする日本の企業であるULVAC (Ultra Low Vacuum)が製造したスパッタ装置です。様々な基板の精密コーティングを可能にする高度なハイスループット生産ツールです。グロー放電陰極アークプラズマ技術をベースとした汎用性の高い蒸着システムで、RFおよびDCアプリケーションの両方に対応する合金、酸化物、炭化物など、さまざまなスパッタリング源を備えています。Entronユニットは、各スパッタリング源の動作条件を独立して制御しながら、正しい雰囲気を同時に作成するように設計されています。RFとDCスパッタリング機能、複数のソース制御、自動化された操作を切り替えることができるULVAC Entronは、非常に効率的なスパッタリングツールです。また、シングルソーススケジューリングによる基板の積み下ろしも可能で、プロセスの均一性と再現性を確保します。Entronは、生産性の向上やランニングコストの削減など、多くの利点を提供しています。高いスループット率、幅広い材料を処理する能力、およびコーティングされた表面を正確に制御することにより、優れた性能と一貫性を実現します。ULVAC Entronは、さまざまな用途で大気を操作する能力により、高収率で費用対効果の高いスパッタリングを実現します。さらに、このツールは、10ナノメートル(10nm)の薄い非常に薄いフィルムを様々な用途で作成することができます。Entronには、ULVACの高度な監視および制御技術も搭載されており、スパッタリングプロセスを完全に制御できます。これには、基板のリアルタイム監視、膜厚、均一性、およびその他のパラメータが含まれます。さらに、このアセットはユーザーフレンドリーなインターフェイスと強力なソフトウェアで設計されており、ユーザーが簡単にセットアップおよび操作できます。この機能の組み合わせにより、ULVAC Entronは幅広いスパッタリング用途に理想的な生産ツールとなります。結論として、Entronは正確で信頼性の高い効率的なスパッタリングシステムを必要とするユーザーにとって強力なツールです。その高度な機能と機能により、産業用蒸着アプリケーションにとって貴重な資産となり、信頼性の高い高スループット生産ツールをユーザーに提供します。
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