中古 ULVAC Entron W-40078 #9109099 を販売中

ULVAC Entron W-40078 Sputtering Equipmentは、金属および合金の導電性および絶縁層の堆積用に設計された高度な物理蒸着（PVD）ツールです。このツールは、セラミックるつぼとドライポンプを使用して、高い純度の環境を生成します。Entron W-40078は、フラットパネルディスプレイ、フレキシブルエレクトロニクス、センサーの製造など、さまざまな研究および製造アプリケーションに最適なツールです。ULVAC Entron W-40078は、使いやすいオペレータインターフェースで設計された半自動機です。このシステムは、DCソース、RFソース、およびホットフィラメントソースを含む複数のスパッタリングソースで使用できます。DCソースは最大4kVの生成が可能で、RFソースは最大500Wの生成が可能で、ホットフィラメントソースは最大400Vの生成が可能です。このユニットには4つの独立したプロセスチャンバーがあり、ユーザーは最大4つの異なるターゲット材料を一度に入金できます。各プロセスチャンバーには、独自のスパッタリング源、独立したプロセスガス、圧力、温度、およびチャンバー圧力モニタが装備されています。機械の高精度運転を可能にします。例えば、圧力と温度はチャンバーごとに個別にグリップすることができます。オペレータインターフェイスは、各チャンバの堆積パラメータを設定する簡単な方法を提供します。このツールは、ウェーハ全体に均一な蒸着を促進するマルチレベルディフューザーを備えています。また、自動ローディング機構を備えており、蒸着時のウェーハの精密な操作が可能です。Entron W-40078には、緊急停止ボタン、安全シャッター、電気異常の資産を監視する安全モニターなど、いくつかの安全機能が含まれています。これらの機能は、モデルが安全かつ効率的に動作することを保証します。結論として、ULVAC Entron W-40078は、研究および製造アプリケーションに理想的な物理蒸着ツールです。非常にユーザーフレンドリーであり、ウェーハ上の金属や合金の精密な堆積を生成することができます。また、システムが安全で効率的であることを確認するための高度な安全機能を備えています。