中古 ULVAC Entron N300 #9314074 を販売中

ULVAC Entron N300スパッタリング装置は、スパッタリングのプロセスを通じて薄膜を基板に堆積させるように設計された工業用グレードの装置です。このシステムは、高温ベーキングや10-7 Paまでの究極の圧力、および環境に優しいターボ分子真空ポンプなどの機能を提供する高性能の真空ユニットで構築されています。これにより、300nm/minまでのスパッタリング蒸着速度を提供できます。このツールにはモジュラー陰極ソースも装備されており、汎用性の高いスパッタリングターゲットを提供します。カソードレスマグネトロンスパッタリング源は、ターゲットの浸食やコーティングの均一性を考慮して設計されています。このアセットでは、単波または双方向スパッタリングなどの特殊コーティング処理も行うことができます。蒸着の進行を監視するために、このモデルはスパッタリングパワーモニターと高速応答幾何学調整を統合しています。真空装置モニターにより、システム圧力と組成の両方を正確に分析できます。Entron N300の部屋は平らな水晶窓が付いているステンレス鋼の貝で構成されます。汚染のない堆積を確保するために、優れたガスシールド環境を提供するように設計されています。また、カートリッジタイプのガスエグゾーストユニットと自動圧力制御装置を内蔵しており、蒸着のためのクリーンで高純度なプロセス環境を提供します。さらに、制御PC、プロセスデータメモリ、グラフィカルユーザーインターフェイスを搭載し、優れた自動化エンドユーザープログラマビリティを提供します。ULVAC Entron N300は、ディスプレイパネルの薄膜成膜から自動車部品コーティングまで、さまざまな用途に最適な成膜ツールです。