中古 ULVAC Entron EX #9226068 を販売中

アルバックエントロンEXは、半導体製造に使用される高精度スパッタリング装置です。デュアルマグネトロンスパッタリングシステムを使用し、基板上の堆積物に高い均一性を生み出します。これにより、高品質のデバイスをオンチップで製造するのに理想的です。ULVAC ENTRON-EXは、ステンレス製の真空チャンバーを備え、10-5 torr以上の真空を生成することができます。自動化されたプロセスコントローラが付属しているため、蒸着プロセスを正確に監視および制御できます。内部温度制御ユニットは、蒸着プロセス中にチャンバを安定した温度に保ちます。Entron EXで使用されるマグネトロンスパッタリング機は、高い蒸着速度で、優れた接着性と耐食性を備えた、異なる材料の高品質で均一な堆積物を生成することができます。また、マグネトロンスパッタリングツールにより、堆積する材料を正確に制御することができ、フィルムの厚さと均一性をより大きく制御することができます。このアセットには、統合されたソース処理モデルが付属しており、真空チャンバーを開くことなく簡単かつ迅速なソース変更を可能にします。これにより、生産中のダウンタイムを最小限に抑えます。ENTRON-EXには、緊急停止ボタンや誤操作を回避するための自動再起動装置など、いくつかの安全システムも装備されています。ULVAC Entron EXは、さまざまな用途に対応する高品質の半導体デバイスの製造に最適です。精密な制御および非常に均一な沈殿物のプロフィールによって、それは最も高い収量および品質管理を提供できます。また、費用対効果が高く、簡単に設定およびメンテナンスが可能です。