中古 ULVAC Entron EX W300 #9381852 を販売中

ULVAC Entron EX W300は、物理蒸着による薄膜の製造に使用されるスパッタ装置です。ULVAC ENTRON-EX W300は、半導体および薄膜蒸着用途向けに設計された、誘電体、金属、抵抗層構造のさまざまな材料を堆積することができるコンパクトなデスクトップスパッタシステムです。スパッタユニットは、アルミニウム、金、タンタル、プラチナ、酸化アルミニウム、二酸化ケイ素などのターゲット材料をスパッタすることができます。ENTRON EX W 300は、手動または自動化された生産ラインに簡単に統合できるように設計されています。さらに、その光学的に透明な水晶ビューポートは、移動ドアを必要とせずにターゲット材料と基板の明確なビューを提供します。特許取得済みの独自のマグネットフリー単軸DCスパッタを使用して、メンテナンスとガス消費を最小限に抑え、また特許取得済みのクイックチェンジスパッタインサートを使用して、ターゲット材料の迅速なスイッチオーバーを可能にします。この機械の真空チャンバーは、低圧ダイアグラムとフロントローディング磁気フィルタを備えており、ダストレベルを低減します。このツールは、特許取得済みの安全シャッターと幅広いオートシャットアセット制御オプションにより、均一な厚さと組成の層を生成することができます。Auto Shutモデルを使用すると、さまざまな厚さの層を堆積する際に、ユーザー定義のターゲット電力、ターゲット位置、および冷却時間を設定できます。ULVAC ENTRON EX W300は、PECVD （Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition）技術の最新技術を搭載し、高密度のピンポイント蒸着を実現しています。最後に、Entron EX W300は、ソフトウェアモニタリングと診断モニタリングの最新機能を提供し、スムーズな動作と最高品質の薄膜蒸着を保証します。