中古 ULVAC Entron EX W300 #9353969 を販売中

ULVAC Entron EX W300スパッタ装置は、金属、合金、誘電体、およびその他の材料を基板に堆積するために特別に最適化された高度な物理蒸着（PVD）システムです。このユニットは、太陽電池からオプトエレクトロニクス部品まで、さまざまな用途の薄膜を作成するのに最適です。ULVAC ENTRON-EX W300のマシン構成には、2つの独立した真空チャンバとロードロック機構を備えたベースユニットが含まれています。これにより、最大2つの基板サイズの同時処理が可能になります。ダイレクトドライブモータードライブは、さまざまな材料と表面仕上げの精密かつ反復可能な堆積を提供することができ、一貫して反復可能な結果を提供することができます。ENTRON EX W 300には、ULVACフィールドで実績のある「PowerWave」スパッタリングツールが搭載されています。これにより、単一の蒸着サイクルで独立した電源設定を持つ2つの異なる材料の選択的蒸着が可能になります。このアセットには、各真空チャンバーに4つの陰極が装備されており、最大4つの材料の同時スパッタリングが可能です。ENTRON-EX W300には、さまざまなサンプルや基板に対応するための幅広いサンプルホルダーや治具が搭載されています。これらにより、蒸着プロセス中の基板の正確かつ再現性の高い位置決めが可能になります。これにより、表面全体のフィルムの均一なカバレッジが保証されます。Entron EX W300には、統合されたプロセスコントロールパネルと最新のPLCタッチスクリーンコントローラを含む高度な制御システムも装備されています。これにより、スパッタリングプロセス全体をユーザーフレンドリーで自動制御できます。さらに、このモデルは、データロギングとオペレータガイダンスのための他のさまざまなシステムに接続することができます。全体的に、ENTRON EX W300は、さまざまな材料を使用した精密で高品質の薄膜を作成するのに理想的です。自動化された制御、精密な蒸着、高度な治具装置により、単一の蒸着サイクルでさまざまな材料の均一なカバレッジ率と反復可能なスパッタリングが可能です。ULVAC ENTRON EX W 300は、さまざまな薄膜用途に最適な、信頼性と費用対効果に優れた高性能スパッタリングシステムです。