中古 ULVAC Entron EX W300 #9282019 を販売中

ULVAC Entron EX W300は、薄膜材料を基板に堆積させるために使用される強力な物理蒸着（PVD）スパッタリング装置です。主に産業用コーティングからマイクロエレクトロニクスまで幅広い用途で使用されています。高純度金属または酸化物薄膜を幅広い材料から優れた均一性とフィルムの完全性を備えた小さな領域に堆積させることができるため、これらの用途に最適です。ULVAC ENTRON-EX W300は、操作を簡単かつ効率的にするさまざまな機能を備えています。このシステムは、単一のソースからアプリケーションに応じて4ソースのインライン構成まで、幅広いスパッタソース構成を備えています。さらに、DC、 RF、 パルスDCスパッタリングのさまざまな組み合わせを使用して、フィルム品質を最適化することもできます。最大4ソースのインライン構成は、同じプロセスで複数の材料を堆積できることを意味し、ユニットの汎用性を高めます。ENTRON EX W 300は、基板温度検出（STD）機能やレーザー密度測定（LDM）機能など、幅広いプロセス監視機能を備えています。STD機能は、スパッタリング処理中に基板表面の温度を検出するためにスキャン赤外線サーモグラフィマシンを使用し、LDM機能はレーザービームを使用して堆積膜の光密度を測定します。これらの特徴は、蒸着プロセスを監視し、高品質のフィルムコーティングを確実にするために重要です。ULVAC ENTRON EX W300は、最大100基板のバッチプロセスを可能にする効率的な冷却ツールを備えています。冷却アセットの設計により、効率的な温度制御と均一な成膜が可能です。全体のモデルは、使いやすさを保証する単一の、ユーザーフレンドリーな、タッチスクリーンインターフェイスによって制御されています。ENTRON EX W300は、高い均一性、優れたフィルム品質、および効率的な操作により、自動車、エネルギー、医療などの業界でのアプリケーションに最適です。装置の汎用性と最大100個の基板をシングルバッチで処理する能力により、産業用コーティングやその他の薄膜アプリケーションに最適です。