中古 ULVAC Entron EX W300 #9282018 を販売中

ULVAC Entron EX W300は、精密コーティングプロセスおよび均一な薄膜用途向けに設計された平行マグネトロンベースのスパッタリング装置です。この大面積のパラレルスパッタリングシステムは、複数の前駆体、単一の同時スパッタプロセスを備えており、広いウエハにおけるコーティング品質と均一な蒸着を向上させます。ULVAC ENTRON-EX W300ユニットは、積載ロックチャンバー、処理チャンバ、スパッタ源ごとに独立した電源で構成されています。W300マシンは、単一のチャンバーに複数の基板ホルダーを含むユニークな設計のため、非常に高い均一性を達成することができます。これにより、150mmウェーハなどの広範囲にわたって均一な薄膜コーティングを製造するための単一のスパッタ実行が可能になります。このツールは、ダイレクトダイオードバイアス電源を備えており、正確な制御と正確な精度でプロセス結果を最適化します。また、W300は、汚染の問題を排除するのに役立ちます垂直ロードロックチャンバー設計を備えています。強力なDC/RF電源、デュアルソース、2モジュールのアセットを組み合わせることで、薄膜の均一性を向上させ、モデルの非影状の部分は、大管状基板の均一性を高めるのに役立ちます。ENTRON EX W 300は、耐用年数と信頼性を高める高活性フィルムの製造に役立ちます。また、高動的なプロセス制御により、高精度のコーティングプロセスに最適です。このシステムは、反射防止や高反射率コーティングなどの光学薄膜コーティングの製造にも適しています。ENTRON EX W300は、金属、ガラス、セラミックスなど様々な基板に対応しています。ULVAC ENTRON EX W 300は、幅広い用途に適した薄膜コーティングに最適なコーティングユニットです。その堅牢な設計と高精度により、精密コーティングプロセスや均一な薄膜アプリケーションに適しています。また、光学薄膜コーティングにも適しており、幅広い基板に対応しています。