中古 ULVAC Entron EX W300 #9275306 を販売中

ULVAC Entron EX W300は、材料加工用途向けに設計された高性能でコンパクトなスパッタ装置です。このシステムは、蒸着および精密コーティング用途の生産性、信頼性、および精度を向上させます。高度なマグネトロンカソードが特徴で、均一で安定したエネルギー源を提供します。ULVAC ENTRON-EX W300には、インサイト基板加熱機構、マルチゾーンロードロックチャンバー、リアサイドイオン化チャンバーを搭載し、高いフィルム品質を実現しています。ENTRON EX W 300は、プロセススループットを向上させる広大なスパッタチャンバーを備えており、ステップサイズが4インチの基板容量を増加させます。スパッタ陰極には高効率な2段冷却機を採用し、最適な陰極温度と長期使用を保証します。このツールには、真空ポンプに接続する高真空スパッタガス源と、チャンバとロードロックの間で交換するスパッタガスの直接供給が装備されています。さらに、このアセットは、非導電基板に蒸着するための低圧スパッタプロセスを提供します。成膜品質を向上させるために、複雑なフィルムアーキテクチャを処理できる基板の回転テーブルを備えています。Peltier-can機器を使用した自動基板ローディングとアンロードが含まれており、ユニット内のクリーンな環境を維持し、基板-プラズマインタフェースを制御するためのマルチゾーンガス排出システムを装備しています。さらに、ULVAC ENTRON EX W 300は、マシンへのリモートコントロールアクセスを提供する適切なソフトウェアパッケージと統合されており、シンプルな操作とプロセス監視を提供します。ENTRON EX W300は、複数のスパッタ成膜用途に優れた成膜と制御を提供し、耐久性のある材料で構築されているため、アジャイルでありながら堅牢なスパッタリングツールです。このスパッタリングアセットは、自動車、航空宇宙、エレクトロニクス、バイオメディカル、光学などの業界に最適です。