中古 ULVAC Entron EX W300 #9212275 を販売中

ULVAC Entron EX W300は、幅広い用途向けに設計された、高性能で最先端のスパッタリング装置です。このシステムは、優れたステップカバレッジを備えた薄く均一なフィルムを製造することができ、電子部品および光学部品の製造に最適です。ULVAC ENTRON-EX W300は、最大8つのターゲットの可変幅トラック処理を備えたマルチリファレンス真空チャンバーを備えています。その高度なポンピングステーションには、実質的にオイルフリーのデュアルステージのターボ分子ポンプが含まれており、チャンバーを10〜5 mbarの圧力レベルまで効率的にポンピングできます。さらに、このユニットには、チャンバーから炭化水素汚染を除去するAbsoprtionコラムが含まれており、長期的な性能と信頼性の向上を可能にします。また、高度なフィルム合成とスパッタ蒸着速度の最適化のための統合されたRFバイアス電源も備えています。これは、複数のチャンバー圧力と結合したRFバイアスを使用することで実現され、成膜パラメータを高度に制御することができます。スパッタリング電源は、様々な負極電圧に素早く到達することができ「、負のスパッタリング」機能を提供します。ENTRON EX W 300は、超薄型の基板から、はるかに大きな寸法の基板まで、多数の基板サイズと材料に対応できます。効果的なクイックチェンジモジュラー設計をツールに組み込むことで、さまざまなソースを再調整することなく素早く変更できます。この機能により、ダウンタイムがなくなり、資産の生産性が最大化されます。最後に、ULVAC ENTRON EX W 300は、直感的でフルグラフィックなユーザーインターフェイスを組み込んだユーザーフレンドリーなコンソールモデルを備えています。これにより、制御値の使いやすさと解釈が容易になり、調整や是正措置を講じることができます。完成した製品は、高い信頼性と正確な膜厚、純度、および良好な接着性などの優れた材料特性でマークされています。これにより、ENTRON EX W300薄膜コーティングの製造に最適なツールとなります。