中古 ULVAC Entron EX W300 #9211053 を販売中

ULVAC Entron EX W300スパッタリング装置は、さまざまなアプリケーションに最適な堅牢で多機能なスパッタリングツールです。このW300は、アルゴンと酸素（または他の反応ガス）の両方のスパッタリングを備えており、最大4門の銃が同時に機能サイズの1,000分の1の精度で制御を行うことができます。高真空チャンバは、2つのウェーハ、または最大4インチの円形基板と500ボルトの公称加速電圧を収容することができます。このデバイスは、Arスパッタリング用に300ワットのパワーを持つマグネトロンスパッタリング源を使用するか、反応ガスで使用するために600ワットを使用します。このW300は、研究開発、小規模生産、新素材の初期評価など、さまざまな真空およびスパッタ環境での堅牢性と信頼性を目的に設計されています。強力なシステムは、ローカルパルス制御による高度な電力調整も提供し、プロセスパラメータを完全に制御できます。W300により、材料蒸着と表面処理を同時に実行することができ、より高いサンプルスループットとより高い柔軟性を実現します。このW300は、プロセスの精度と再現性を確保するだけでなく、半導体の熱処理機能も統合されています。このユニットは、加熱ラジエーターを備えたマルチゾーン水晶赤外線ランプを使用しており、温度感知プロセスの動作に最大800°Cの最適な加熱温度を提供します。高度な6軸ロボットマシンは、正確なナビゲーションと再現可能な精度でマルチステージ、マルチトラック処理ルートを作成し、酸化皮膜層の除去や層の薄膜堆積などのプロセスを最適化します。最後に、W300は直感的なユーザーインターフェイスを備えているため、ユーザーはツールにすばやく適応し、リアルタイム、データ循環、グラフィカルディスプレイを通じて情報を得ることができます。内蔵の安全監視システムは、資産データを自動的に監視し、障害状況のシナリオから保護することでユーザーを保護します。全体として、ULVAC ENTRON-EX W300は、幅広い基板関連材料加工ニーズに対応するために設計された強力で信頼性の高いスパッタリングモデルです。