中古 ULVAC Entron EX W200S #9266623 を販売中

ULVAC Entron EX W200Sは、幅広い用途向けに設計された高性能スパッタリング装置です。成膜、エッチング、パターニングなどの薄膜用途に最適です。このシステムは、優れた真空安定性と信頼性を備えた優れた真空環境を提供するために、高度なターボ分子ポンピングユニットを備えています。Entron EX W200Sは、精密なサンプル操作を可能にする4次元モーション機能を備えたチャンバーを使用しています。回転性のある基板ステージと、傾斜可能なスパッタターゲットを備えており、幅広い角度で堆積することで堆積品質を向上させます。モーションの高精度は、非接触、非磁性、非可換性、レーザー光の干渉計によって制御されるベース位置決めによって保証されます。アルバックエントロンEX W200Sは、アルミニウム、ニッケル、クロム、チタン、亜鉛、金、銀、合金などの幅広い材料と互換性があります。6個のマグネトロン源をパルス動力源で制御することができ、素材やターゲット材料をスパッタして薄膜の均一性を高めることができます。さらに、イオンビーム源は、堆積した薄膜を滑らかにし、基板への接着性を高めるのに役立ちます。スパッタリングプロセスは、直感的なグラフィカルユーザーインターフェイスを備えたオンボードプロセス管理ソフトウェアによって大部分が自動化されています。これは、信頼性の高い再現性と複雑なマルチステップスパッタリングプロセスを実行することができます。この機械にまた基質の温度、圧力、流れ、電圧、等のようなプロセス監視の選択の広い範囲が、あります。最後に、リアルタイムのオンラインインターロックツールを使用すると、資産の安全な操作が保証されます。結論として、Entron EX W200Sは、信頼性の高い薄膜成膜とエッチング結果をユーザーに提供する強力で正確なスパッタリングモデルです。それは高い信頼性および優秀な結果を要求するあらゆる実験室のために完全です。