中古 ULVAC Entron EX 300 #293592005 を販売中

ULVAC Entron EX 300は、さまざまな材料コーティング用途に使用される産業用スパッタ装置です。均一な薄膜を高率かつ低コストで基板に効果的に堆積させ、大量生産に適したシステムです。マルチアークユニットとして、誘電体、金属、合金など幅広い材料にコーティングが可能です。Entron EX 300は、450mmまでのさまざまなサイズの基板に均一な薄膜を堆積するように設計されています。この機械は、高い生産速度と膜厚、接着性、光学特性を正確に制御します。エントロンのジオメトリは、複数の円弧を正確に配置し、基板位置を正確に配置することもできます。ULVAC Entron EX 300は低基板の温度で動作し、熱損傷のない複雑な材料の急速な蒸発を可能にします。さらに、Entron EX 300は、お客様の幅広い要求を満たすために、蒸着速度と均一性を正確に制御します。不活性ガス不活性イオン源と統合真空ツールを組み合わせることで、高速かつ超低圧でのスパッタリングが可能です。Entron EX 300には、優れたパフォーマンスを確保するためのいくつかの機能が含まれています。ソフトウェアは便利で容易な変数設定のために提供され、優秀な反復性を提供している間広いセット・ポイントを可能にします。多層プロセス制御オプションにより、スパッタリング蒸着の精度がさらに向上し、一貫した結果が得られます。さらに、プロセス制御資産は生産を簡素化し、ウェーハからウェーハまでの繰り返し可能な結果をもたらします。ULVAC Entron EX 300は、薄膜の均一で精密な成膜に最適なモデルです。それは生産者に、厳しい公差を持つ大量の製品を生産するための効率的で費用対効果の高い方法を提供します。優れたプロセス制御と高度な機能を備えたこのULVACマルチアークスパッタリング装置は、幅広いコーティング用途に適しています。