中古 ULVAC EI-7K #9402679 を販売中

ULVAC EI-7Kは、真空加工装置のリーディングメーカーであるULVAC Systems、 Inc。の高性能スパッタリング装置です。薄膜成膜用の全自動スパッタリングシステムで、幅広い用途に対応しています。ULVAC EI 7 Kは、さまざまな基板上の超薄型、均一、およびコンフォーマルコーティング、および優れた接着特性を持つ厚膜基板を製造することができます。このユニットには、優れた性能とコーティング品質を確保するために、固体イオン源、選択スパッタリング、反応スパッタリングなどのさまざまな技術が装備されています。EI-7Kは、高度なプロセス制御を提供する高度な8ターゲットスパッタリング陰極真空蒸着（CVD）マシンが装備されています。ガス圧力、イオン電流、チャンバー温度、マグネトロン電流など、さまざまな調整可能なスパッタリングパラメータを備えています。このツールは、さまざまなスパッタリングギャップ構成を迅速に切り替えて、コーティング厚さを簡単かつ正確に制御するように設計されています。各スパッタターゲットを独立して操作および制御することで、最大8つのターゲットを並列にスパッタできます。Sol Guard機能は、ターゲットの年齢に応じて自動的に基板距離まで減少し、コーティングの均一性を維持します。高性能スパッタリングアセットに加えて、EI 7 Kには幅広い関連アクセサリーや技術が含まれています。それは高真空圧力室、源の電源、サンプル部屋、ゲート弁およびブリーダーラインが装備されています。また、プラズマ強化化学蒸着（PECVD）、紫外線硬化、エッチバックなどの特殊プロセスも利用できます。また、スパッタリングプロセス中に発生する危険な粒子からオペレータを保護する安全シールドが装備されています。ULVAC EI-7Kには、高度な診断およびデータ分析ツールが多数搭載されており、プロセスパラメータの検出と最適化が容易に行えます。付属のソフトウェアは、リアルタイムでプロセスパラメータを監視および制御し、コーティング性能の詳細なレポートを作成できます。このソフトウェアにはマルチスペクトルイメージング装置もあり、ユーザーは表面セクションのコーティング厚さを検証することができます。このシステムには、電気測定用のオシロスコープも含まれており、スパッタリング表面とソースを正確に監視できます。ULVAC EI 7 Kは非常に汎用性と信頼性の高いスパッタリングユニットで、幅広いアプリケーションに最高レベルの性能と価値を提供します。液晶製造、半導体ウェーハ加工、データストレージ、MEMSなど、さまざまな業界での使用に適しています。堅牢な設計と信頼性の高い性能により、EI-7Kは高品質で超薄膜コーティングを実現するための理想的なスパッタリングマシンです。