中古 ULVAC EI-7K #9402605 を販売中

ULVAC EI-7Kは研究開発（R&D）のために設計された複数の源、中型力のスパッタリング装置です。コンパクト設計の利便性とマルチソーススパッタリング機能の柔軟性を兼ね備えています。ULVAC EI 7 Kは、RFまたはDCスパッタリングが可能な最大4つのカソードと、eビーム蒸発用の5番目のカソードを収容できます。このユニットは、多くの異なる基板材料をサポートし、薄膜、多層膜、およびその他の繊細な電子材料の生産に適しています。EI-7Kは10-7から10-2 Torrの基盤圧力範囲の堅牢な真空機械を含んでいます。このツールは、超低圧力および温度ポンプダウンサイクルで設計されており、チャンバーの迅速かつ効率的な避難を可能にします。精密なプロセス条件を可能にする圧力および温度制御のために活動的なターボ分子ポンプ資産および精密で、再現可能な真空環境が提供されます。EI 7 Kは2つのロードロックチャンバーを備えており、メインチャンバーへの迅速なアクセスを可能にし、プロセス中断のない迅速な基板交換を可能にします。小型からフルウエハまで、複数の基板サイズに対応可能です。ULVAC EI-7Kには、高度なデジタルコントローラとモニター、電動トッププレート、正確なジオメトリベースのターボ分子ポンプも含まれています。この機器は、さまざまなオートメーション機能を備えた、使いやすい、ソフトウェア構成可能なユーザーインターフェイスで設計されています。それは柔軟な制御機能を提供し、ガスの流れおよびシステム構成の範囲を提供します。ULVAC EI 7 Kは、複数の安全システムを備え、業界標準と完全に互換性があり、薄膜製造に必要なレベルの信頼性と精度を提供します。EI-7Kは高度なスパッタリングユニットで、ディスプレイ、エレクトロニクス、オプトエレクトロニクス、太陽電池などの業界に最適なソリューションを提供します。これは、研究室や薄膜材料の工業生産のための理想的な機械であり、高品質の薄膜の配列を開発し、生成する能力を提供します。