中古 ULVAC EI-7K #9364550 を販売中

アルバックのEI-7Kは精密な制御および信頼できる性能を提供するように設計されている高度のスパッタリング装置です。これは、さまざまな基材に非常に均一で一貫したスパッタコーティングを提供することができます。チャンバーはステンレス製で、高レベルの真空を可能にするために密閉性の高い非常に低い総アウトガス率を備えています。それは精密な熱制御と4,400°Cまで熱することができる3地帯の暖房システムを特色にします。ULVAC EI 7 Kは、スパッタ蒸着プロセス中に反応ガスを導入するために使用できる独自に設計されたガスユニットを備えています。EI-7Kは6,000rpmまで回転する複数の盾によって動力を与えられ、スパッタターゲットは発煙の汚染を防ぐために水晶側面の盾によって保護されます。その水晶モニターは、シャッターの0。524電力密度を測定することにより、プロセスの最適な条件を維持するのに役立ちます。これにより、スパッタリングプロセスをタイムリーに調整し、所望の結果をすばやく得ることができます。EI 7 Kは、顧客の多様なニーズを満たすために、いくつかの追加の操作を提供しています。1x1mmの小型ワーク用に設計されたイオンガンを搭載し、スポットスパッタプロセスにも使用できます。また、放射電流モニターと高周波（HF）発電機を備えており、エリアに到達しにくいスパッタリングが可能です。最後に、そのデジタル制御機は、プロセスを制御し、監視するための強力な機能のホストとPCに接続することができます。結論として、ULVAC EI-7Kは、さまざまな基板上の一貫した均一なコーティングのために設計された高度なスパッタリングツールです。これは、信頼性の高いパフォーマンスと正確な制御で、いくつかの高度な操作オプションとモニターを備えています。これにより、幅広い用途に最適です。