中古 ULVAC EI-7K #9364549 を販売中

ULVAC EI-7K
製造業者
ULVAC
モデル
EI-7K
ID: 9364549
ウェーハサイズ: 2"-6"
E-Beam evaporation systems, 2"-6".
ULVAC EI-7Kは、幅広い業界の研究開発、製造、生産レベルの活動とのコラボレーションのために設計された高性能スパッタリング装置です。このスパッタリングシステムは、薄膜の堆積、エッチング、成形など、さまざまな用途に使用できます。ULVAC EI 7 Kは、電極なし出力と調整可能な基板間距離を備えており、高い蒸着速度と薄膜の均一性を提供します。広い作業スペースを備えており、操作が容易で幅広い基板を使用できます。このユニットはまた、金属、酸化物、化合物などの多くの原料をサポートすることができます。マシンのアーキテクチャは、スパッタリングチャンバーとターゲットホルダーの2つの主要コンポーネントで構成されています。スパッタリングチャンバーには高効率クーラーが装備されており、チャンバー内の均一な温度を維持するのに役立ちます。このツールは、同じサンプルから単一または複数のスパッタ操作を実行できるため、大規模な生産に最適です。EI-7Kは、研究および生産環境に最適な多数の機能を備えています。電圧、圧力、時間、基板温度などのスパッタリングパラメータを正確に制御する高性能コントローラを備えています。このアセットは、均一なフィルム品質を保証する自動チューニングモデルも備えています。高度な性能に加えて、EI 7 Kは多くの安全機能を提供しています。自動ガス流量制御装置を搭載し、危険なガスが作業エリアに入るのを防ぎ、チャンバー内の残留ガス量を低く抑えることができます。このシステムには、人員と機器を保護するための強力な全体的なインターロックユニットも装備されています。ULVAC EI-7Kは、幅広い業界で優れた性能と信頼性を提供するように設計された強力なスパッタリングマシンです。高度な機能と安全システムを備えたULVAC EI 7 Kは、薄膜の研究、開発、および生産レベルのアプリケーションに最適です。
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