中古 ULVAC EI-7K #293604476 を販売中

ULVAC EI-7Kは、真空技術ソリューションおよび機器のリーディングプロバイダーであるULVAC、 Inc。によって製造されたスパッタ装置です。材料の層をさまざまなサイズの基板に堆積させるために使用される最先端の蒸着システムです。ULVAC EI 7 Kは、真空チャンバーで行われる従来の平面マグネトロンスパッタリングプロセスを利用しています。マグネトロンスパッタリングプロセスは、エネルギー粒子の爆撃によって望ましい材料の薄膜を基板に堆積させる真空蒸着技術です。このプロセスは、チャンバー内の磁石によって生成される電磁界によって可能になります。EI-7Kは、超薄膜、導電膜、保護膜など、さまざまな成膜要件を対象に設計されています。蒸着ユニットの最大蒸着速度は最大6 °/sで、40x60mmの作業面積で複数の精度構成に対応できます。このマシンは、1-2ガスインレット、基板段、スパッタリングカソード、100mTorrタイプの真空ポンプ、および二次ポンプを備えたロードロックチャンバーを備えています。さらに、EI 7 Kツールには6つのスパッタリング源があり、それぞれに独立した電源があり、アルゴンと反応スパッタリングの両方が可能です。ULVAC EI-7K資産は、操作しやすいプロセス制御ソフトウェアを使いやすく設計しているため、工業生産だけでなく研究開発にも適しています。このモデルは、精度と効率を提供することで、生産プロセスに革命をもたらしました。ウェブコミュニケーションインターフェイスにより、堆積プロセスの遠隔監視と迅速な適応性を可能にします。さらに、装置の精度と再現性により、高収量の生産に最適です。ULVAC EI 7 Kは、二酸化炭素排出量を実質的に排出するエネルギー効率の高いシステムです。クローズドループ式ガスコントロールユニットを採用し、ガス消費量を最小限に抑え、変調された電源と低室圧動作によりエネルギー効率を向上させます。ULVAC独自の真空紫外（VUV）ランプは、機械のエネルギー効率をさらに高め、プロセスをより環境に優しいものにします。EI-7Kは、さまざまな材料にフィルムを堆積させるための信頼性と費用対効果の高いソリューションを提供します。そのユーザーフレンドリーな設計と高度な機能は、プロセスの効率を向上させ、生産の柔軟性を提供します。これは、ユーザーがスパッタリングプロセスをカスタム設計し、堆積プロセスのコスト効率と総制御を提供することができるツールです。