中古 ULVAC EI-7K #293603154 を販売中

ULVAC EI-7Kは、機能性、精度、柔軟性を考慮して設計されたスパッタ装置です。薄膜の成膜から基板のエッチング、さらにはイオン支援プロセスの一種であるAOIまで、幅広いプロセスオプションを備えています。ULVAC EI 7 Kはモジュラー設計で、3つのメインコンポーネント、メインチャンバー、メインプロセッサ、および測定および分析システムで構成されています。主要なスパッタリング部屋は容易な、信頼できる操作、また非常に有効なスパッタリング機能を提供します。また、高度な安全機能とコンピュータ化されたパフォーマンス管理ユニットを備えており、オペレーションが効率的かつスムーズに実行されるようにします。メインプロセッサはクローズドループとフィードバックシステムを使用して、堆積パラメータと条件を監視および制御します。測定・分析装置は、さまざまな方法でプロセス結果を確実に監視・分析することができます。真空センサの配列により、チャンバが正しい圧力で維持され、高度な精密センサが膜厚を測定します。このツールはまた、X線放射、エネルギー分散分光、走査型電子顕微鏡などの膜および基板特性を評価するための様々な分析機能を提供します。EI-7Kには、標準的なシングルソース設定から複雑なマルチソース構成まで、複数のスパッタリング構成のオプションが付属しています。EI 7 Kは、金属、合金、酸化物材料など、さまざまな材料を堆積する能力を持っています。また、ガラスからシリコン、セラミックスまで、さまざまな基板を加工することができます。丸みを帯びた機能と汎用性を備えたULVAC EI-7Kは、幅広いスパッタリングニーズに最適です。柔軟でユーザーフレンドリーな操作により、あらゆるユーザーのニーズに最適な汎用性の高いモデルです。スパッタリングの精度と精度が必要な方には、ULVAC EI 7 Kを使用するのに最適な機器です。