中古 ULVAC EI-7K #293587277 を販売中

ULVAC EI-7Kは、材料の薄膜蒸着に使用されるスパッタ装置です。真空技術に特化したULVAC Technologies、 Inc。によって製造され、独自の革新的なプロセスであるEI技術を利用しています（後述）。このシステムは高効率の蒸着用に設計されており、酸化物、窒化物、酸化物、金属および合金、およびケイ化物で構成される様々なターゲットで使用することができます。EI技術は、チャンバー内のスパッタリングガスをイオン化する専用イオン源を利用しています。これにより、エネルギー、エネルギー拡散、入射角度を厳密に制御することで、高イオン密度が容易になり、幅広い材料に適した均一で効率的な蒸着プロセスが実現されます。その他の特徴として、プロセス制御とレート最適化を改善するための2つの電子乗算器があります。さらに、スパッタ位置とプロセス時間を表示する2つの小型モニターを装備し、プロセス管理を改善します。ULVAC EI 7 Kには、7インチのダブル（デュアル）ロータリースパッタリングチャンバーがあり、最小チャンバー圧力は5x10-5 Paです。独立したガスボックスとガスラインを備えており、効率的なガス使用を可能にします。このマシンは5種類のターゲットをサポートしています。COG、スパッタおよび詰め替えターゲット；そしてPCD（脈拍制御のゆがみ）ターゲット。効率的な成膜のために、チャンバーには磁場の方向を制御できる強力な磁場発生器が装備されています。イオン源パラメータを正確に制御するために、RF（無線周波数）プラズマを使用できます。EI-7Kは、ウェーハサイズと温度がそれぞれ300mmと400°Cの最大値を持っています。最終的に、EI 7 Kスパッタリングツールは、異なる材料の高効率の堆積のための優れた選択肢です。それは効率的で、正確で、非常に柔軟です。フィルム成膜をより簡単に、より正確にするために特別に設計された機能の配列が付属しています。これらの理由から、それはいろいろな企業の使用のための優秀な選択です。