中古 ULVAC ei-7 #9247392 を販売中

ULVAC ei-7は、真空技術の日本メーカーであるULVAC、 Inc。が開発したスパッタ装置です。薄膜成膜システムの一種で、様々な表面に薄膜を堆積させて薄膜被覆材料を形成します。Ei-7は、コンピュータ制御機とスパッタリングプロセスを正確に制御できる様々な電子機器を組み込んだ完全自動化されたユニットです。ULVAC ei-7ツールは、絶縁された環境で2つの電極を作成し、それらの間に高電圧を印加する直流（DC）スパッタリングを使用しています。負極は基板ホルダー、正極は陰極ターゲットです。電圧を印加すると、対象物質のイオンが基板に向かって生成され加速され、薄膜が表面に堆積します。Ei-7は、最大効率のために部分的に囲まれた堆積チャンバーを持っています。このチャンバーの設計はバッフルの資産を備えており、交差汚染のない均一な蒸着速度を維持するのに役立ちます。このモデルにはプラズマトーチが含まれており、ターゲット材料のスパッタリングをさらに可能にします。ULVAC ei-7には、液晶ディスプレイ（LCD）パネルが搭載されており、動作状況を確認することができます。また、圧力トランスデューサを使用してチャンバー内の圧力を監視する真空インターロックシステム（VIS）も備えています。これにより、望ましい膜厚が確実に達成され、突然の圧力変化からユニットを保護するのにも役立ちます。Ei-7は金属、酸化物、窒化物、および他の専門を含むいろいろな材料を、利用します。幅広い応用材料をサポートするように設計されており、絶縁回路で使用するための誘電層を堆積するための特別な能力を持っています。機械はまた非常に信頼でき、有効であるように設計されています。ULVAC ei-7は、さまざまな薄膜被覆材料を作成することができる高度で効率的なスパッタリングツールです。使いやすく、蒸着プロセスのリアルタイム監視が可能で、信頼性が高く効率的です。