中古 ULVAC ei-7 #9225663 を販売中

ULVAC ei-7は、薄膜を基板に堆積させるために設計されたスパッタ装置です。スパッタリングのプロセスを利用した高真空蒸着システムで、高電圧フィールドを介して原子を放出する動作です。このユニットには、中空陰極マグネトロン（HCM）や平面マグネトロン（PM）などのエネルギー効率の良いスパッタリング源が装備されています。Ei-7機械はモジュール式で、高真空チャンバモジュール、高圧電源モジュール、HCMまたはPMスパッタリングモジュールで構成されています。それはまた冷却される液体窒素である市場の唯一のシステムの1つである。この冷却チャンバーは、最適な温度制御を作成し、正確に制御されたスパッタリングプロセスを可能にします。ULVAC ei-7ツールは柔軟性があり、効率の高い様々な材料タイプを堆積させることができます。導電性金属、半導体、絶縁体、さらには磁性薄膜などの材料を堆積させることができます。また、精密な沈着を確保するためのさまざまな機能を備えています。これらの機能には、スパッタリングターゲット位置決めアセット、温度コントローラ、真空測定モデルなどがあります。この装置は、さまざまな業界で有効であることが証明されています。モバイルデバイス、医療産業、自動車産業向けディスプレイの製造に使用されています。高度な機能と精密な成膜能力により、ei-7は幅広い用途において高品質の薄膜成膜を保証します。