中古 ULVAC ei-5t #9284562 を販売中

ULVAC ei-5tは、真空機器およびシステム業界のリーディングメーカーであるULVAC、 Inc。が開発したスパッタ装置です。スパッタリングを用いて基材に金属や複合膜を堆積させる真空蒸着ユニットです。スパッタリングは、材料の原子を表面に堆積させるプロセスであり、半導体、磁気、光学デバイスに最適です。Ei-5tには、2つのマグネトロンスパッタガンを備えた単一のスパッタチャンバーがあります。基材に応じて陽極酸化やイオンビーム補助プロセスを行うことができます。この機械は、効率を高め、粒子の汚染を減らし、一貫したフィルム特性を作り出すために設計されたさまざまな機能を備えています。これらの機能には、高速、高精度の膜厚モニタ、真空時間を短縮し、ガスのバックストリーミングを低減するターボ分子ポンプ、蒸着速度を向上させスパッタ摩耗を低減するための高周波変調スパッタリングプロセス、および高速ターンアラウンドを容易にし、偶発的な汚染のリスクを低減する高度なシャッターツールが含まれます。この資産には、緊急停止スイッチ、地上処理保護モデル、軽い屋根危険保護装置など、いくつかの安全機能もあります。さらに、アークの防止のための高度な電気安全システムが装備されています。ULVAC ei-5tは、最適な蒸着結果を得るために、真空固有のパラメータの設定、大量生産のためのプログラムオートメーション、さまざまな作業のためのプリセット技術を提供する統合制御ユニットを備えています。Ei-5tには独自の「マルチステップオペレーション」と「マルチステップトレーサー」技術が搭載されており、ナノスケールパターニングなどの高度なアプリケーション向けに複雑なスパッタリングプロセスをプログラムすることができます。また、高精度で効率的なスパッタリングプロファイルを提供する「ターボスキュー」モードを搭載しているため、複雑な形状や表面積の大きい部品にスパッタリングコーティングを施すなどの用途に最適です。全体的に、ULVAC ei-5tは信頼性が高く、効率的で正確なスパッタリングツールであり、幅広いアプリケーションのニーズに適しています。これは、フィルム蒸着アプリケーションのためのコンパクトでリーズナブルな、多機能産業用グレードの資産を必要とする人のための優れた選択肢です。