中古 ULVAC Ei-5K #9364553 を販売中

ULVAC Ei-5Kは、コンパクトなサイズの高精度スパッタリング装置で、ULVACシリーズのスパッタリングシステムにおいて卓越した価値と性能を提供します。ULVAC EI 5 Kは、総真空が5。2 × 10-2Torr、基圧が5。0 × 10-7Torrで、スパッタリング歩留まりが非常に高く、精密な加工能力を備えているため、研究および生産アプリケーションに人気があります。システムに温度のための前後制御を特色にする1000W RF力の基質の暖房段階があります。また、0-60V DC電源、5軸マニピュレータ、解像度0。1nmの高精度クォーツガラス変位計を備えています。Ei-5Kには、Al、 Na、 K、 Cu、 Si、 Ta、 2「および4」 ULVAC-Lonj®ソースなどの標準アイテムを含む、さまざまなスパッタリングソースオプションが付属しています。このユニットは、DC/RFプラズマスパッタリングを同時に行うためのオプションのプラズマコンバインドスパッタリングソース（PCSS）で構成することもできます。EI 5Kが提供するインターフェイスモジュールにより、ハイエンドのパフォーマンスを実現できます。これらのアプリケーション固有のモジュールにより、反応スパッタリング、同時マグネトロンスパッタリング、ハイレートスパッタリングなど、幅広い成膜プロセスを実行できます。ULVAC Ei-5Kのユーザーフレンドリーで便利な操作により、大学のラボから工業生産環境まで、あらゆるラボに適しています。わかりやすいアイコンを備えた直感的なユーザーインターフェイス、優れた真空度モニタリングマシン、使いやすい機能を備えたデータ収集ツールを提供します。ステンレスとセラミック部品を搭載したULVAC EI 5 Kは、優れた耐久性と長寿命を提供します。また、優れた安全性を誇り、高い衝撃と振動抵抗と完全に自動化された真空起動により、あらゆる研究室に最適です。全体として、Ei-5Kは優れた性能と信頼性を提供する最高レベルのスパッタリングアセットです。幅広いソースオプション、堅牢な構造、直感的な制御モデルを備えたEI 5 Kは、あらゆる研究環境や生産環境に最適です。