中古 ULVAC Ei-5K #9364552 を販売中

アルバックEi-5Kは、ハードコーティング用途向けに設計された高性能スパッタ装置です。ULVAC製品ラインの最新動向の1つです。このシステムは、スパッタリング源を簡単に制御できるガス管理ユニットと、精密な圧力制御のための高度な動的真空設計を備えています。DCとRFの両方のスパッタを1〜2kWの電源で提供し、優れたフィルム均一性と高い蒸着率を実現します。ULVAC EI 5 Kはまた、最大のプロセス安定性と信頼性の高い結果を得るための強力な基板クランプツールを備えています。Ei-5Kには、8ターゲットのロードロックチャンバーと、Cool Torchとプロセスチャンバーが組み合わされています。このチャンバーは、最大610mmの大型パネルを含む幅広い基板の取り扱いに適しています。円筒形の物体です。これは、最大8つのターゲットとデュアルガスボックス資産の目標負荷容量を持っています。EI 5 Kには、異なる磁石やその他の要素で複数の堆積プロセスを処理する独自のサポートモデルがあります。ULVAC Ei-5Kは、優れたプロセス制御のために、ガス漏れを検出するためのヘリウムリーク検出器、ならびに基板温度を監視および制御するための最先端の機器を提供します。また、マルチセグメントパワーコントロールシステムを備えており、様々な材料の精密な成膜を可能にします。ULVAC EI 5 Kには、コンピュータまたはPLCによるリモートコントロールとデータロギングを可能にするデジタルデータ収集ユニットもあります。Ei-5Kは、セラミック部品のコーティング、医療機器、ITO薄膜アプリケーションなど、さまざまなハードコーティング用途に最適です。また、マグネトロンおよびプラズマ補助化学蒸着（PACVD）プロセスの蒸着にも適しています。この機械は、ターゲット基板距離、限られた基板加熱、および優れた温度制御の顕著な均一性と安定性を提供します。EI 5 Kは、信頼性と優れた結果を保証するために、自動クリーニング、自動通気、自動故障、自動ロックなど、さまざまな自動機能を提供します。ULVAC Ei-5Kは、高性能ハードコーティング用途に取り組む人々にとって理想的な選択肢です。