中古 ULVAC Ei-5K #9248804 を販売中

ULVAC Ei-5Kは、試料表面に薄い層の材料を堆積させるために設計されたスパッタ装置です。フラットパネルディスプレイ、オプトエレクトロニクス、太陽電池、ディスクドライブなど、幅広い用途に適しています。ULVAC EI 5Kは直径200mmまでのウェーハに対応可能で、イオン洗浄ステーションを内蔵しています。スパッタリングシステムには、ULVAC DR-100ダイオード型スパッタリングソースがあり、4つの異なる材料を同時に沈着させるための4つの陰極が含まれています。調節可能な段階は基質と陰極間の火花の間隔の精密な制御を可能にし、一貫した層の厚さの沈殿を保障します。Ei-5Kは、デジタル基板温度センサ（DSTS）も備えています。この高精度温度センサにより、基板上の蒸着温度を正確に監視できます。スパッタリングユニットに加えて、EI 5Kにはイオン源とイオン洗浄ラックを含む補助断面があります。イオン源はイオン銃と統合イオン源アダプタで構成されており、スパッタ層の均一性と再現性の両方を正確に制御できます。統合されたイオンクリーニングラックは、粒子や表面汚染物質を除去することにより、スパッタ層の均一性を保証します。ULVAC Ei-5Kは、蒸着プロセスを制御および監視するための直感的なソフトウェアパッケージを備えた使いやすいマシンです。ソフトウェアには、堆積をリアルタイムで表示するためのグラフィカルインターフェイスも含まれており、必要に応じて堆積パラメータをより正確に調整することができます。ULVAC EI 5 Kは、手動または自動ジョブコントロールモードで実行することができます。また、エンドポイントモニターがあり、蒸着プロセスの進行状況をリアルタイムでフィードバックします。自動ジョブコントロールモードは、ユーザーがパラメータを使用して堆積ジョブを設定し、ジョブが完了するまでツールを自律的に実行できるため、大きな堆積実行に特に便利です。全体的Ei-5Kは、フラットパネルディスプレイからオプトエレクトロニクス、太陽電池まで、さまざまな用途に最適な高性能スパッタリングアセットです。これは、ユーザーフレンドリーであり、サンプル表面上の材料の薄い層の堆積のための信頼性の高いプラットフォームを提供します。