中古 ULVAC Ei-5K #293824786 を販売中

ULVAC Ei-5Kは、薄膜成膜、光学コーティング、マイクロエレクトロニクスデバイス製造などの用途向けに設計されたスパッタ成膜装置です。このシステムは、幅広い機能と機能を備えており、汎用性の高い研究および産業用途を可能にします。アルバックEI 5Kは基板や部品へのスパッタ成膜が可能で、特定の均一なコンフォーマルコーティングが可能です。このユニットは、複数の基板をカバーすることができる5-kWマルチターゲット複数のアークマグネトロンスパッタ源を装備しています。精密な電源により、ターゲットに正確なエネルギーを供給し、均一なコーティングを実現します。インプロセスモニターは、蒸着プロセスを実施中に監視し、蒸着プロファイルの変更に関するリアルタイムのフィードバックを提供します。また、適用される負荷に応じてパラメータを調整し、精密な蒸着プロファイルと均一なコーティングを可能にします。さらに、プロセスガス制御機が付属しており、アルゴンまたは窒素ガス混合物を導入してスパッタリングプロセスをより良く制御することができます。Ei-5Kは高均一性を達成するために精密な動きのプロフィールを保障している間急速な基質のローディングおよび荷を下すことを可能にする高度の段階の移動用具を利用します。これは、自動化されたブリッジ、精密なX-yステージ位置決めアセット、高速基板搬送を組み合わせて実現します。EI 5Kはオペレータの相互作用を容易にするようにも設計されています。透明な観覧室により、シームレスなプロセス観察と制御が可能です。直感的なHMI （Human Machine Interface）は、パラメータを簡単に制御し、プロセス全体を監視するために含まれています。さらに、プロセス制御およびデータ収集のためのソフトウェアツールを使用してプロセスデータを分析し、品質と信頼性の高い結果を保証します。全体的に、ULVAC Ei-5Kは、幅広い用途に対応する堅牢な薄膜蒸着モデルです。これは、最高の均一性、正確な制御、および反復可能な結果を備えた正確で反復可能なスパッタリングを実行するように特別に設計されています。