中古 ULVAC Ei-5K #293607249 を販売中

ULVAC Ei-5Kは、アルバック株式会社が製造する汎用性の高いスパッタリング装置です。磁気スパッタ成膜ツールであり、低真空スパッタリングプロセスを利用して基板などに薄膜を塗布します。ULVAC EI 5 Kは、汎用性を高めるために幅9の5"磁気セクタ目標を持っています。このスパッタリングシステムは、最高のプロセス効率と再現性を提供するように設計されています。Ei-5Kは、目標ギャップから圧力上昇までの応答時間が非常に速く、迅速な起動と再現性を可能にします。さらに、このユニットは非常に低消費電力で、効果的なプロセス制御のための内蔵のOリングシーリングユニットを備えています。また、マルチポイントステッピングモーターを搭載し、ターゲットと基板の正確な位置決めが可能です。最先端のダイレクトダイオードプラズマなど、EI 5Kの高度な機能により、さまざまなアプリケーションに最適です。その優れたマスキングとシャドーイング精度は、フィルムコーティング、超格子、複雑な薄膜構造、PVDプロセスなど、さまざまな先進的な薄膜蒸着プロセスに最適です。高精度であることに加え、高精度なプロセス制御も可能で、高品質の薄膜の精密成膜に最適です。ULVAC Ei-5Kは、ハイスループットアプリケーション用の2ステーションウェーハロードロックチャンバーと、あらゆる要件に対応する柔軟なオートメーションオプションを備えています。全体として、ULVAC EI 5 Kは強力で正確で効率的な成膜ツールであり、さまざまなプロセスが可能です。その優れた精度、低消費電力、強力で厳密に制御されたプロセスにより、さまざまな薄膜蒸着プロセスや高スループット用途に最適です。