中古 ULVAC Ei-5K #293604475 を販売中

アルバックEi-5Kスパッタ装置は、金属、半導体、セラミック基板など様々な材料に薄膜を堆積させるために使用される高性能、多機能システムです。主にフラットパネルディスプレイや太陽電池の製造、その他様々な電子機器の製造に使用されています。ULVAC EI 5 Kは、薄膜の自動スパッタリングを向上させるとともに、基板やフィルムの均一性、優れた接着特性、低汚染レベル、加工時間の短縮を実現するよう設計されています。Ei-5Kは、5-Kilowatt、中周波数（MF） DCマグネトロン電源を備えており、幅広い金属やその他の材料をスパッタすることができます。これは、2つの陰極ターゲットを備えており、前処理室、堆積室、および2つのカロライジングチャンバーを含む4つのプロセスチャンバーを持っています。このユニットは、最大6。7インチ（17cm）の基板を処理することができ、1時間あたり最大40ウェーハ、または最大13インチ（33 cm）の単一のウェーハを処理することができます。EI 5 Kは、LCDタッチスクリーンオペレータ制御と組み込みの安全インターロック、プログラム可能なシーケンス制御、プロセス制御ソフトウェア、および自動および手動制御モードを備えています。また、基板を脱ガスするための真空チャンバー、自動で直感的なサンプルローディング/アンロードマシン、およびオプションのアクセサリーが含まれています。その高度な機能セットは、既存の生産ラインに簡単に統合することができます。ULVAC Ei-5Kは、精度と再現性に優れていることで知られており、低レベルのプロセス制御でも一貫した正確な結果が得られます。低粒子数、薄型設計、低消費電力化により、省エネルギーで設置が容易です。このツールは、様々なガスとの互換性もあり、生産要件の追加の柔軟性を可能にします。全体的に、ULVAC EI 5Kスパッタリングアセットは、薄膜をさまざまな基板に成膜するための効果的で汎用性が高く、使いやすいツールであり、さまざまな用途に適しています。安全で信頼性が高く、費用対効果に優れた高速で低コストのソリューションを提供し、商用および産業用アプリケーションに最適です。