中古 ULVAC Ei-5K #293603151 を販売中

アルバックEi-5Kは薄膜成膜用に設計されたスパッタ装置です。ハイスループットのために設計された工業用グレードのスパッタリングシステムです。このユニットは、複数の材料を同時に基板に堆積させることができるデュアルマグネトロンスパッタリング源を備えています。機械はまたよりよい均等性を達成するのを助ける回転可能なターゲットおよび大きい粗いピッチを含んでいます。このツールは、最大5,000mm^2基板に対応できる大きなチャンバーを備えており、高いスループットとローディング時間の短縮を可能にします。基板マウントは電動化されており、基板の迅速な積み下ろしが可能であり、基板の回転を可能にします。このアセットには、高度な高温発熱体と、沈着時の基板の調整可能な冷却モデルが搭載されています。部屋はまた効果的に部屋からの粒子を取除き、きれいな操作を保障できるクラス100のクリーンルームの漏出ろ過装置が装備されています。システムの制御と監視は、ULVACオリジナルのリブコントロールユニットで行われます。これにより、蒸着中のスパッタリングレシピパラメータのリアルタイム解析、調整、最適化が可能になります。このマシンは、同時に堆積最適化とフォルト検出のためのマルチタスク実行方法を備えています。RIB制御ツールは、基板温度、圧力、アーク抑制電流、基板バイアス電圧の監視も可能です。ULVAC EI 5 Kは、Si ウェーハOLEDディスプレイ、メモリデバイス、3D構造デバイスのコーティングなど、さまざまな用途に対応しています。このスパッタリングアセットは、薄膜を生成するために高いスループットと正確な制御を必要とするあらゆるアプリケーションに適しています。このモデルは最大限の柔軟性を提供し、ユーザーは自分の望むニーズに簡単にレシピを適応させることができます。Ei-5Kは、高精度な薄膜成膜に適した強力で信頼性の高いスパッタリング装置です。