中古 ULVAC Ei-5K #293592010 を販売中

ULVAC Ei-5Kは実験室および産業適用のために設計されている高性能のスパッタリング装置です。基板への材料の信頼性、再現性の高い成膜を可能にする完全自動成膜システムです。ULVAC EI 5Kは、高い蒸着速度、高品質のフィルム、および優れたフィルム・ツー・フィルムの再現性を可能にするULVACプラズマレス・スパッタリング法を含む、複数のプロセス能力を備えた高度なスパッタリングツールソリューションを提供します。Ei-5Kには、5つのスパッタリング陰極の標準構成が含まれており、5つの異なるターゲット材料の堆積を可能にします。各陰極はそれぞれ異なったイオン密度およびガスの流動度のためにそれぞれ調節することができユーザーに多様な選択を与えます。さらに、EI 5Kはヘッダーにも対応して、複数のターゲット材料の同時蒸着またはリモートでプラズマを強化した材料の蒸着を可能にします。ULVAC Ei-5Kには、蒸着プロセス全体を制御することができるULVAC高度な多段エンドポイント検出ユニットも含まれています。この機械はユーザーが沈殿する材料の厚さを監視し、プロセスがいつ完了するか正確に判断することを可能にします。また、材料の正しい量が堆積されることを保証し、複数の実行にわたって再現可能な結果をもたらします。さらに、ULVAC EI 5Kを使用すると、ターゲット角度、電力密度、スパッタされる材料などの堆積パラメータを調整することができ、プロセスパラメータを微調整し、用途に合わせてフィルムを最適化することができます。さらに、強力な専用ソフトウェアにより、ユーザーはデータを保存して保存することができ、以前の設定を素早く簡単にリコールしたり、堆積プロセスを監視したりすることができます。全体として、Ei-5Kは信頼性、再現性、高品質のフィルムに幅広い機能を提供する高度なスパッタリングツールです。複数のプロセス機能と洗練されたエンドポイント検出アセット、直感的なユーザーインターフェイスを備えたEI 5 Kにより、ユーザーは簡単にマシンを操作し、最適な結果を得ることができます。