中古 ULVAC Ei-5K #293587276 を販売中

ULVAC Ei-5Kは産業、商業、研究開発の適用のための物質的な表面の薄膜のコーティングを作り出すために使用されるハイテクなスパッタリング装置です。このシステムは、金属、合金、半導体、その他の高性能材料を含むさまざまな基板に複数の材料をスパッタすることができます。スパッタリングガスの供給に標準的な真空ユニットを採用し、短いサイクルで硬質で耐久性のあるコーティングが可能です。ULVAC EI 5 Kは、調整可能な電源設定と高品質のパフォーマンスを備えた高度な高出力およびパルスDCマグネトロンスパッタリング電源を備えています。これらのマグネトロンは、最大10,000Wの電力の大きな動作範囲を持っており、重い材料と軽い材料の両方で動作することができます。蒸着チャンバは、スパッタリング効率と均一性を最大化するために柔軟なプレート移動の特許出願で最大565x550x700 mmの使用可能面積を有しています。また、高精度で安定性のある個々の膜厚を測定するための統合されたRF監視/測定装置を備えています。Ei-5Kは、幅広いスパッタリング材料や基板に対応できる高度なスパッタリングツールです。その高度な高出力DCマグネトロンスパッタリング電源は、信頼性の高い性能と、広範囲にわたって非常に薄く均一で高品質のコーティングを製造する能力をアセットに提供します。統合されたRFの監視/測定装置は一貫した、信頼できるコーティングの結果のための均一なフィルム厚さを監視し、維持するのを助けます。このモデルの全体的な操作はシンプルで使いやすく、さまざまな用途で高性能な薄膜コーティングを製造するための信頼性と効率的な方法を提供します。