中古 ULVAC EI-5 #9107280 を販売中

アルバックEI-5は、薄膜成膜に使用される高度なスパッタ装置です。5チャンバー同時スパッタリング（2チャンバ対3チャンバ）で、比類のない柔軟性とスパッタリングの均一性を提供し、高性能な半導体やMEMSデバイス向けの硬質および軟質磁性材料を含むさまざまな用途に最適です。EI-5の高精度バイアスパッタリング機能は、幅広い領域で最高のプロセス均一性を提供し、ウェーハ全体で優れた製品整合性を実現します。このシステムの設計機能は精密な制御のために構築されており、ハイレートDCスパッタリング、ハイフラックスパルスDCスパッタリング、非常にハイレートハイブリッドDC/パルスマグネトロンスパッタリングなど、さまざまなスパッタリングプロセスから選択することができます。調節可能な部屋のサイズは大きいスケールフレームを含む基質のサイズを、収容する独特な機能を提供します。アルバックEI-5ユニットは、薄膜成膜の均一性と目標使用率を向上させる最適化されたスパッタ設計も提供します。最適なターゲット設計により、複数の小さなターゲットを使用する必要がなくなり、スパッタプロセスの削減コストを簡素化および削減できます。さらに、スパッタリング陰極の内部シールド設計は、磁気ラインの視界リスクを排除し、チャンバー間の相互汚染を防止するのに役立ちます。クローズドループのプロセス監視と制御により、一貫した結果が得られ、実行時間と品質の最適化に役立ちます。EI-5には、スパッタ源、電源、ガス処理、プロセスコントローラ、安全システムなど、最も要求の厳しい要件を満たすために、さまざまな真空部品やアクセサリーが装備されています。使いやすさと優れた性能を兼ね備えたULVAC EI-5は、信頼性の高い高品質な製品をお届けできるスパッタリングマシンをお探しのお客様に欠かせません。モジュール式でスケーラブルな設計により、シンプルなアプリケーションから要求の厳しいアプリケーションまで、幅広い要件を満たすことができ、コストを削減してパフォーマンスを最大化することを求める人々に最適な選択肢です。