中古 ULVAC EI-5 #293828476 を販売中

アルバックEI-5は電子部品および装置の生産で使用されるスパッタリング装置です。それはさまざまな電子部品のための薄膜の層を作成する効率的で信頼性の高い方法を提供するように設計された産業用具です。EI-5は、スパッタリングターゲットを多数収容するイオンチャンバーを利用しています。これらのターゲットは、最適化された均一性と清潔さを提供するために、さまざまな角度に配置されています。チャンバー内では、ターゲットは強力な放電にさらされます。これにより真空が生成され、アルゴンなどの不活性ガスが充填されます。不活性ガスが電場を通過すると、イオンの爆撃が発生し、標的表面から材料をスパッタします。このスパッタ材料は基板に付着し、表面に薄膜を形成します。ULVAC EI-5は、望ましい膜厚を維持するために、システムの圧力と電圧を調整する機能を備えています。さらに、ユニットの設計により、複数のターゲットと基板を同じチャンバーで使用することもできます。この機能により、1つの処理サイクルで複数の薄膜層を適用することが可能になり、生産効率が向上します。EI-5はまた高度の安全および監視機能が装備されています。インラインセーフティモニターを備えており、機械の圧力と電気パラメータをチェックして、詳細な安全ガイドラインを満たしています。アーク検出器は、ツールの電気パラメータをリアルタイムで監視するためにも含まれています。これにより、オペレータは潜在的な危険を回避するために迅速に資産を調整することができます。結論として、ULVAC EI-5は、電子産業で使用される薄膜層、金属膜およびその他のコンポーネントの効率的な生産のために設計された産業用スパッタリングモデルです。使いやすい操作、安全機能、高度な監視機能を備えたEI-5は、スパッタリングニーズにとって信頼性が高く費用対効果の高い選択肢です。