中古 ULVAC EI-5 #293826440 を販売中

ULVAC EI-5は、幅広い産業用途向けに設計されたスパッタ装置です。薄膜成膜、エッチング、材料の加工に使用されます。このシステムは、コントローラ、チャンバー、蒸着源、および関連する真空ポンプで構成されています。高度なコントローラは、ユニットとその動作のさまざまなパラメータを制御するための優れた精度と再現性を提供します。蒸着プロセスを精密に制御するための高度な温度制御と、薄膜の均一な蒸着のためのさまざまなヘッドエンドアクセサリーを備えています。スパッタチャンバーは、2マグネトロン、円断面設計を有し、アルミニウム製です。それは優れた性能と安全性のための空気絶縁された内部および電気絶縁された外部を備えています。それは100Wまたは200Wの電力操作のために設計され、中型および大面積の薄膜の沈殿のために適しています。スパッタ源は、1サイクルで20nmコーティング層の堆積を可能にし、高い堆積率のためにアンロードとセミロードの両方のモードで動作することができます。EI-5機械には、ターボモレキュラー、イオン、メカニカルポンプなど、さまざまな真空ポンプが装備されています。ターボ分子ポンプは10-2 Paの基圧に達することができ、200 L/sまで達する速いポンプ速度が可能です。イオンおよびメカニカルポンプは、高速ポンプが必要ではなく、低極圧が依然として必要なアプリケーションに最適です。ULVAC EI-5スパッタリングツールは、レシピとユーザーフレンドリーなインターフェースでプログラミングできる高度なコントロールパネルを備えています。また、真空中の粒子からの電子の逆散乱を防ぐために最適な温度制御と封じ込めリングのためのチャンバー温度センサーを備えています。EI-5資産は、電子部品、医療インプラント、光学デバイス、自動車部品、装飾コーティングなど、さまざまな産業用薄膜アプリケーションに適しています。その優れた精度、再現性、マルチチャンバー構成により、多くのアプリケーションに最適です。高度な機能とユーザーフレンドリーなインターフェースにより、ULVAC EI-5スパッタリングモデルはすべてのニーズを確実に満たします。