中古 ULVAC EI-5 #293690584 を販売中

ULVAC EI-5は、アルバック・テクノロジーズが日本で設計・製造した工業用グレードのスパッタリングシステムです。磁場発生器を備えたワンピース構造と、非常に安定した真空チャンバーを備えているため、高精度の物理蒸着に最適です。EI-5は、2種類のターゲットを同時に処理することができ、様々な化合物薄膜の製造に非常に汎用性があります。それに長い時間に連続的な操作にとって理想的である密集した設計、よい操作の柔軟性および低い電力の消費があります。ULVAC EI-5の磁界発生器は、高効率で耐久性のあるデュアル回転マグネトロン、リニアモータドライバ、および電流モニタで構成されています。電流を制御し、DC/RFパワーを照射することEI-5、マグネトロンスパッタリングを簡単かつ正確に制御することができます。最大スパッタリング速度は510nm/minで、単一のターゲットを使用します。ULVAC EI-5の真空チャンバーは、新たに設計された6ポケットセルを採用し、荒削りバルブを装備しています。アクティブラフリングシステムは、真空の安定性を高めるのに役立ち、真空圧力を調整するために必要な時間を大幅に削減します。室内もステンレス製のメッシュでコーティングされており、粘着材を低減しています。EI-5は非常に効率的であり、印象的なスループットを持っています。制御・監視用の統合PC、各種高精度センサ、プロセス制御システムの改良など、多彩な機能を搭載しています。オプトエレクトロニクス、フラットパネルディスプレイ、半導体製造プロセスに最適です。