中古 ULVAC EI-5 #293648862 を販売中

アルバックEI-5スパッタリング装置は、薄膜および金属酸化物層を生成するために設計された高性能成膜システムです。精密薄膜成膜、保護コーティング、接着層、金属酸化物コーティング、半導体材料の薄膜積層など幅広い用途に適しています。EI-5の中核は、コンパクトなULVAC電子ビーム直流スパッタリング技術を利用し、濃縮電子ビームと結合した平面マグネトロンを使用して、非常に均質な薄膜を生成します。その4軸マニピュレータは、電子ビームの正確な制御と方向を提供し、広い領域にわたって均一で反復可能な薄膜蒸着をもたらします。このユニットには、反転基板によるプロセスの不均一性を排除するチャンバーロール傾斜フィーチャー（CRT）も装備されています。ULVAC EI-5は、極めて精度の高い厚さと速度の広い薄膜を製造することができます。プロセスの再現性が高く、垂直または水平の設定で操作できます。オンボードラスタースキャンは、最大5mm/秒のスキャン速度で利用できます。また、自動脱離洗浄機能を備えており、汚染を防ぎ、運転中に素早く効率的な基板変更を可能にします。EI-5スパッタリングツールは、真空プラズマクリーナー、ソース、ターゲット、マスクなど、多くのULVACアクセサリと互換性があります。また、統合されたアセットコントローラを備えており、プロセス管理を簡単かつ正確に行うことができます。また、パラメーター、レシピ、履歴記録を簡単に調整するためのデジタルビジュアルインターフェイスも備えています。全体的に、ULVAC EI-5は高効率で高度なスパッタリングモデルを提供しています。高品質のレイヤーと構造を製造するのに適しており、精度と再現性があります。そのコンパクトなサイズと柔軟性により、幅広い薄膜成膜用途に最適なソリューションです。