中古 ULVAC EBX 2000 #9243792 を販売中

ULVAC EBX 2000は、開発、生産、品質管理のために薄膜を作成するために設計されたスパッタ装置です。このシステムは、優れた均一性とフィルム特性を備えた、高スループット、低メンテナンスの薄膜蒸着を提供します。ULVAC EBX-2000は操作が簡単で、さまざまな材料や成膜アプリケーションに対応できます。このユニットは、ソースチャンバーとロードロックチャンバーで構成されるデュアルチャンバー設計を備えています。この設計により、マシンは2つのターゲットを同時に保持することができ、より高いスループットを実現します。Load Lock Chamberはサンプル処理に対応しているため、ソースチャンバーは清潔であり、蒸着プロセスは妨げられません。EBX 2000のソースチャンバーは、ICN型マグネトロン源マザーボード、プラズマ源、メカニカルポンプ、拡散ポンプ、バッキングポンプで構成されています。ICN型マグネトロン源は、スパッタリングプロセスの主要エネルギーを提供します。プラズマを駆動し、高密度のエネルギーイオンビームを生成します。このビームがターゲットに向けられ、ターゲット材料がその表面から排出され、基板に堆積する。機械的、拡散、およびバッキングポンプは、ソースチャンバーを清潔に保ち、汚染のないように連続的な吸引を提供します。EBX-2000は、低温から高温まで幅広い蒸着プロセスを提供します。スパッタエッチングも可能で、サンプルからフィルムや薄い層を除去することができます。膜厚とターゲット基板距離を制御することで、優れた均一性と再現性を実現します。さらに、統合された自動レシピ機能により、オペレータはレシピとプロセスを簡単に切り替えることができます。ULVAC EBX 2000を使用すると、効率的な薄膜蒸着により、非常に均一で反復可能なスパッタリングプロセスを実現できます。その多目的な設計およびユーザーフレンドリーなソフトウェアはそれを一貫した質および性能を保障する開発および生産の適用の両方にとって理想的にします。