中古 ULVAC EBX 2000 #293792915 を販売中

ULVAC EBX 2000は、高品質の薄膜を製造するために設計された高性能スパッタリング装置です。金属、半導体材料、誘電体、絶縁体、さらには磁気光学材料まで幅広い薄膜材料を作成することができます。スパッタリングシステムは、3軸プラットフォーム上に構築されており、堆積プロセスのすべてのステップで印象的な精度を提供することができます。ULVAC EBX-2000は、2つの独立したスパッタリングガン、0。2nm分解能のリニアエンコーダ、および薄膜蒸着の精度を向上させるガスモニターを使用しています。この設定により、EBX 2000は平面サーフェスと曲面サーフェスの両方を一定の速度でスパッタすることができます。EBX-2000はまた1 x 10-8 torrで評価される超高真空の部屋を特色にします。このレベルの真空により、各プロセスで高品質のフィルム成膜が保証されます。また、プロセス中にチャンバーをほぼゼロに汚染することができ、効率的な成長率と基板の汚染を最小限に抑えることができます。ULVAC EBX 2000は、柔軟な基板加工を可能にする幅広いアクセサリーを搭載しています。カーボンフィルムヒーター、ウェーハアライメントプレート、ロボットトランスファーアーム、RF発電機などがあります。これらの追加ツールにより、ULVAC EBX-2000はスパッタリング速度と基板の均一性を向上させることができます。プロセスが正しく完了し、最適な効率で完了するように、EBX 2000には、蒸着プロセスのすべての側面を監視および管理できるさまざまな監視機能が装備されています。これには、プロセスパラメータの遠隔監視、ライブカメラを使用してターゲットの位置をグラフ化して精度を高め、排気ユニット機能を制御し、直感的なインターフェースで高度な診断を行います。要約すると、EBX-2000はスパッタリング機能のパラダイムです。スパッタリング工程で高い精度と精度を提供する革新的な機能を備えており、薄膜成膜に幅広い材料を使用することができます。超高真空機、多数のアクセサリー、精密な監視機能を備え、高品質の薄膜の製造に最適です。