中古 ULVAC CS-200 #9328776 を販売中

ULVAC CS-200は、スタンドアロンまたはインライン操作用に設計された高品質のスパッタ装置です。これは、薄膜加工アプリケーションで業界で認められているリーダーであるULVACによって開発された、市場で最も優れたシステムの1つです。CS-200はマグネトロンとダイオードスパッタリングメタン、アルゴン、補助ガスの両方を利用し、磁場強化スパッタリングを可能にします。特許取得済みの独自のデュアル周波数ジェネレータを使用し、高周波と低周波の両方のスパッタリングを可能にします。この技術の結果、非常にきれいで均一なフィルムを生成し、他のシステムと比較してより高い沈着率を達成することができます。ULVAC CS-200は、大容量の生産環境で使用するように設計されており、その機能はこの目的に適しています。デュアル周波数13.56MHz発生器を備えており、スパッタリングプロセスの速度と電圧を正確に制御できます。この発電機はまた、より高いスパッタリング力を受け入れることを可能にし、その結果、より高い沈着率をもたらします。また、オートブランケット転送システムを備えているため、スパッタ蒸着用の基板を素早く簡単に準備できます。CS-200はまた、エンドエフェクタワンド、バケット、ロータリースパッタリング用の回転基板など、幅広いハードウェアオプションを誇っています。このユニットには、レシピベースのスパッタリング/スパッタリング、スパッタパラメータ調整、および複数の基板/ターゲットスパッタリングなど、幅広いソフトウェアオプションがあります。さらに、このマシンにはプログラマブルロジックコントローラ（PLC）が内蔵されており、スパッタリングプロセスを簡単かつ効率的に自動化できます。また、ULVAC CS-200は、真空ツールリークセンサー、地上フォルトプロテクター、完全なCE準拠資産など、多くの安全機能をユーザーに提供します。また、幅広いユーザーオプションを提供し、異なるスパッタリングのニーズを満たすためにモデルを簡単かつ迅速にカスタマイズすることができます。全体として、CS-200は大量生産と小規模プロフェッショナルスパッタリングの両方に適した多数の機能を備えたトップオブラインのスパッタリング装置です。これは、システムを使用するときにユーザーが自信を持って感じることができるように、安全機能の範囲が付属しています。また、さまざまなハードウェアとソフトウェアオプションを提供して、ユーザーが必要に応じてユニットを調整できるようにします。