中古 ULVAC Ceraus #9137188 を販売中

ULVAC Cerausは、薄膜成膜を高度に制御するために設計された高性能スパッタリング装置です。大面積の基板や高スループットに優れた均一性を提供するように設計されています。このシステムは、1つの真空チャンバの設計にすべてを備えています。これは、ソース、転送、ターゲットといった複数のプロセスステーションを備えた単一のチャンバで、基板の積み込み、受け取り、プロセス間の切り替えなどの操作を実行できます。半導体、金属、セラミックス、ガラスなど幅広い基材に対応可能です。セラウスマシンには高性能RF電源とプロセスコントローラが搭載されており、4マスク動作モードで優れた成膜能力を発揮します。4マスクモードでは、複数のターゲットを同時に使用し、各ターゲット間の可変的な無線周波数電力配分を可能にします。これにより、成膜速度とフィルムの均一性を優れた制御が可能になり、異なる組成と厚さの非常に多様な薄膜を堆積させることができます。さらに、このツールは高度な堆積断熱材と温度制御システムを使用して、プロセスの最大の効率と再現性を確保します。絶縁アセットは、プロセス中のチャンバー壁からの熱損失を制限することで均一な蒸着を促進し、温度制御モデルは、最適なプロセス効率のために蒸着温度を積極的に調整します。ULVAC Cerausは、基板の読み込みと切り替え時間が速いハイスループットアプリケーション向けに設計されており、より高速な生産を可能にします。使いやすいユーザーインターフェイスは、レシピ入力、プロセス監視、データ取得などの幅広い機能を提供します。システムはネットワーキングもサポートしており、リモート監視とプロセスのパラメータへのアクセスを可能にします。Cerausスパッタリングユニットは、太陽光発電、センサ、LED製造、MEMS、マイクロマシニングの分野におけるさまざまな高度なアプリケーションに最適です。優れた均一性、再現性、長寿命、幅広い材料との互換性を提供しながら、より高い蒸着速度と優れた品質の薄膜を可能にします。