中古 ULVAC Ceraus #9137187 を販売中

アルバック・セラウス（ULVAC Ceraus）は、ガラスやシリコンなどの基板に材料を堆積させるために使用されるスパッタ装置です。Cerausは従来のスパッタリングシステムよりも大きな基板サイズに対応できるように設計されているため、より大きな面積の堆積を必要とするアプリケーションに適しています。ULVAC Cerausはフローティング基板ホルダーを採用しており、ターゲットとの相対位置を調整して均一な成膜を実現しています。さらに、このシステムは、磁気浮上バックアップされたメカニカルポンプを備えた最適化された真空チャンバ構造を備えており、優れた基板環境制御を提供します。そのため、高精度の薄膜成膜プロセスに適しています。Cerausは柔軟な電源も備えており、ユーザーは電圧と電流を希望のレベルに変化させることができます。これにより、蒸着速度が速くなり、従来のスパッタリングシステムよりも高品質な蒸着が可能になります。また、アルバックセラウスには独立したガス供給装置があり、スパッタ成膜用にアルゴン、水素、窒素、酸素などの反応ガスをユニットに導入することができます。これは、バリア層や光学コーティングの作成などのプロセスに不可欠です。安全性に関しては、Cerausは故障した場合にエラーメッセージを表示するように設計されています。ULVAC Cerausはまた、常にチャンバー内の優れた大気制御を保証する避難とクライオポンプを持っています。さらに、この機械の堅牢な設計と機械的安定性は、ターゲット材料全体に均一な電子エネルギー分布を維持するのに役立ち、コーティング中の粒子が少なくなります。Cerausはコスト効率の高いスパッタリングツールで、素材を基板に素早く堆積させ、高品質で欠陥を少なくすることができます。その包括的な機能は、優れた基板環境制御、ならびに反応ガスを使用する能力を確保し、さまざまなスパッタリングプロセスに適しています。