中古 ULVAC Ceraus ZX-1000 #9390643 を販売中

アルバックCeraus ZX-1000は、精密な成膜を必要とする半導体産業の用途に最適なスパッタ成膜装置です。ULVACの完全自動化された中央真空方式により、あらゆる表面に均一な薄膜コーティングを実現し、究極の精度を実現しています。このユニットは、金属、金属酸化物、窒化物、炭素材料など、さまざまなスパッタ材料と互換性があります。中央真空機械と自己生成されたクローズドループ制御機構は、クリーンな動作環境を作り出し、外部ソースからの汚染を防止します。ULVAC CERAUS ZX 1000は、ターゲット材料ごとにソースアセンブリを備え、柔軟な成膜技術を可能にします。これには、シングルカソードおよびデュアルカソード構成、および方向スパッタリングを使用する機能が含まれます。また、活性磁場も備えており、高精度な成膜と低温処理によるリニアイオンフラックスのターゲティングが可能です。さらに、平面と円柱の両方の構成で均一な堆積を可能にします。Ceraus ZX-1000は、膜成長技術を活用して、層厚と膜構成を正確に制御します。このアセットは、一連のウェーハ回転段を利用して基板のすべての側面に均一な蒸着を実現し、表面特性の望ましくない変化を回避します。さらに、フィルム特性を微調整するための多段式温度制御も可能です。また、ポンプ性能を最適化する8ポケットカセットターボポンプモデルと、静電気防止用のレイデンJar回路を備えています。最後に、CERAUS ZX 1000には、安全モニターディスプレイや連動ドアなど、さまざまな安全機能が組み込まれています。これにより、危険なプロセスへの潜在的な偶発的暴露からユーザーを保護します。また、自動積み下ろし機構により、オペレータ不要で24時間の運転が可能です。これにより、継続的かつ高効率な生産プロセスが保証されます。全体的に、ULVAC Ceraus ZX-1000は半導体産業の適用のための理想的なスパッタリングシステムです。最先端の技術とカスタマイズ可能な機能により、正確な結果を迅速かつ安全に提供します。