中古 ULVAC Ceraus ZX-1000 #9274947 を販売中

ULVAC Ceraus ZX-1000は、高品質の物理蒸着（PVD）プロセス用に設計されたスパッタリング装置です。あらゆる形状、サイズ、材料の基板に様々な薄膜を堆積することができます。特に、ハードディスクストレージ、半導体、液晶、太陽電池などの幅広いストレージディスクコーティングに適しています。ULVAC CERAUS ZX 1000は、2つのマグネトロンスパッタリングカソードとスパッタリング成膜用の1つの電子ビームガンを備えています。デュアル陰極スパッタ機能により、最大400nm/minの高い蒸着速度を実現し、SRP<1％を達成できます。電子ビームガンは、高い方向性の粒子ストリームでより高い精度を提供することができ、より高い焼結率とコーティングの接着性を向上させることができます。さらに、酸化処理に使用できる酸素制御チャンバーと、蒸着基板を準備するための超音波後面クリーニングを装備しています。ユニットの性能と精度を確保するために、コーティングの品質を検証するための検査および試験ツールが内蔵されています。これには、エンドポイント検出、厚さ測定、およびプロセス条件と完成品を観察するためのその他のルーチン試験が含まれます。機械の操作を容易にするため、Ceraus ZX-1000にはツールコントローラがあり、Webベースのアクセスでどこからでも操作できます。CERAUS ZX 1000スパッタリングアセットは、ユーザーに多くの利点を提供します。光学部品、磁気または磁気光学記録媒体、薄膜太陽電池など、幅広いコーティング用途に適しています。高い蒸着率を実現し、精度と精度を提供します。また、試験・検査ツールも内蔵しており、遠隔操作も可能で、便利で効率的です。さまざまな機能を備えたULVAC Ceraus ZX-1000スパッタリング装置は、ユーザーにさまざまなオプションを提供する有利なシステムです。