中古 ULVAC Ceraus ZX-1000 #9274945 を販売中

ULVAC Ceraus ZX-1000は、薄膜成膜技術の幅広い応用を可能にするために設計されたスパッタリング装置です。高周波の無線周波数（RF）反応スパッタリングを利用して、均一な厚さ、高密度、低応力、優れた電気的および光学的特性を有するフィルムを生成します。この技術により、あらゆる形状やサイズの金属、ガラス、セラミック基板に薄膜を適用することができ、フィルム特性を調整し、最終的に複雑な構造を作成することができます。ULVAC CERAUS ZX 1000は、特定のアプリケーションの特定の要件を満たすように設定できるモジュール設計を備えています。それに2つの部屋があります；プロセス部屋および前処理の部屋。プロセスチャンバーでは、RFスパッタリングを使用して、制御環境内の基板上に薄膜を堆積させます。このチャンバーは、高い蒸着速度とプロセスパラメータの精密な制御を可能にする台座周波数スパッタリングシステムを備えています。プレプロセスチャンバーでは、脱ガス、グロー放電、軽いO2エッチングなど、さまざまなフィルム作製技術を実装できます。このユニットには、蒸着プロセス全体を効率的かつ正確に制御できるように設計された高度なソフトウェアパッケージが装備されています。真空クリーンサイクル、自動復元保護、プリセット状態での停止、データロギングなど、いくつかの高度な機能を備えています。このマシンは、直感的でカスタマイズ可能な操作で、ユーザーフレンドリーに設計されています。RFスパッタリングプロセスを使用して、金属、酸化物、窒化物、合金膜などの幅広い薄膜材料を堆積させることができます。これらのフィルムは、数ナノメートル（nm）から数ミリまでの厚さで堆積することができ、半導体、フラットパネルディスプレイ、光学部品、医療機器などの用途に使用することができます。Ceraus ZX-1000には、反射防止コーティング、保護コーティング、および装飾的な酸化膜を適用する機能もあります。高度な機能と機能により、CERAUS ZX 1000は汎用性が高く効果的なスパッタリングツールです。そのモジュール設計および洗練されたソフトウェアはあらゆる特定の適用環境のためにカスタマイズすることを容易にし、堅牢な構造は質のフィルムの沈殿および信頼できる操作を今後何年もの間保障します。