中古 ULVAC Ceraus ZX-1000 #9271371 を販売中

ID: 9271371
ウェーハサイズ: 6"
ヴィンテージ: 1996
System, 6" (2) Cassettes Etching chamber Heating chamber (3) Sputtering chambers.
ULVAC Ceraus ZX-1000は、さまざまな目的でさまざまな業界で広く使用されている最先端のスパッタ装置です。このマシンは、最高品質の基準に基づいて構築されており、産業用、セラミック用、研究開発用のスパッタリングプロセス用に設計されています。一般的に、スパッタリングとは、一般的に金属である「スパッタリングターゲット」と呼ばれる物質を気化させるために化学的またはプラズマ放電を使用するプロセスです。スパッタリングターゲットはアルゴンの雰囲気の中に配置されます。その後、電流がスパッタリングターゲットを通過し、気化します。その後、蒸発した材料を基板、一般的に半導体材料に放出します。このプロセスは、さまざまな基板上に薄膜コーティングを形成するために使用できます。ULVAC CERAUS ZX 1000は、さまざまな構成でスパッタリングプロセスを容易にするように設計されたスパッタリングシステムです。このユニットは、最大6つの基板と4つのスパッタリングターゲットを同時に処理することができ、大量の均一なフィルムを効率的に生産することができます。このマシンには、緊急停止ボタン、安全インターロックマシン、緊急電源オフスイッチなどの多数の安全機能が装備されています。これらの機能により、このツールを安全に操作でき、人員や機械自体に損傷を与えるリスクがなくなります。また、ZX-1000アセットには、モデルのパフォーマンスを継続的に監視する自己診断機能があり、運用の有効性に関するリアルタイムのフィードバックを提供します。また、スパッタリングチャンバーへのアルゴンの流れを正確に制御するために使用される高精度の制御ユニットを装備しています。これにより、アルゴンの精密な組成が望ましい深蒸着フィルムを達成するために使用されることが保証されます。また、Ceraus ZX-1000 Equipmentには自動膜厚制御システムも搭載しています。この単位は沈殿させたフィルムの厚さの精密な測定を可能にします、生産の間にそれが所定の指定に合うように調節することができることを意味します。オールインオールCERAUS ZX 1000は、優れた精度と信頼性を提供する高品質のスパッタリングマシンで、さまざまな業界のさまざまなスパッタリングアプリケーションに適しています。
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