中古 ULVAC Ceraus ZX-1000 #9270490 を販売中

ULVAC Ceraus ZX-1000は、薄膜成膜やパターニング、ナノ構造加工、スパッタ洗浄など、さまざまな用途に使用される高度で精密なスパッタ装置です。このシステムは、真空チャンバー、RF/DC電源、RF/DCスパッタガン、ガスボックスで構成されています。ULVAC CERAUS ZX 1000の真空チャンバは、超高真空レベルを実現するように設計されています。ステンレス製のフレームと2つのビューポートで構成されており、スパッタリング処理中の表示が可能です。チャンバーにはターボポンピングユニットと圧力計が内蔵されており、スパッタリングの過程でチャンバー圧力を容易に監視できます。チャンバー内には、スパッタする基板に対応するように設計された2つの棚があります。棚は一度に4つまで4つの"ウエファーを握ることができます。RF/DC電源は、スパッタリングプロセスを正確に制御します。RFおよびDC電圧、パルス周波数、およびパルス幅を独立して制御できるため、微調整された調整とプロセス条件の最適化が可能です。RF/DC電源は、最大4つのターゲットを同時に制御できます。RF/DCスパッタガンは、平らな面と曲面の両方で蒸着するように設計されています。イオンエッチング用イオン源を搭載しており、材料除去を正確に制御できます。スパッタガン独自の設計により、ディープスパッタエッチングと広い領域の効率的なコーティングが可能です。最後に、ガスボックスは不活性ガスの流れを正確に制御し、ユーザーがスパッタリング処理に理想的な雰囲気を作り出すことができます。ガスボックスには安全スイッチも備えており、緊急時にはすばやくガスを遮断することができます。要約すると、Ceraus ZX-1000は、精密な薄膜成膜、パターニング、ナノ構造の製造、スパッタ洗浄用に設計された高度なスパッタリングマシンです。真空チャンバー、RF/DC電源、RF/DCスパッタガン、ガスボックスで構成されており、スパッタリングプロセスを正確に制御できます。