中古 ULVAC Ceraus ZX-1000 #9180013 を販売中

ULVAC Ceraus ZX-1000スパッタリング装置は、薄膜成膜のための高度で信頼性の高いシステムです。このユニットは、金属、酸化物、窒化物、およびその他のハイテク産業用材料の薄膜を作成するように設計されています。この機械は優秀な性能および高精度のために知られています。アルバックCERAUS ZX 1000は、高度なクローズドループプロセスチャンバーを使用して高いプロセス安定性と精度を実現するシングルチャンバーのスパッタリング機です。このチャンバーには、蒸着チャンバ内の高い塩基圧力を維持するための超高真空（UHV）ポートが装備されており、今日利用可能な最高の蒸着速度の一部が可能です。Ceraus ZX-1000は、薄膜の信頼性、再現性、高レートの蒸着を保証するために、多くの機能を備えています。複数の高出力DCおよびRFマグネトロンスパッタリング源とeビーム蒸発源を備えています。スパッタリング源には、高度なミッドウルトラハイ周波数クローズドループ電源制御およびプロセス監視、ならびにターゲット寿命の向上と優れた均一性のためのエアーシールドターゲットが採用されています。ターゲット・ステーションは、均一な膜厚を確保するためにライン・マッチしており、4インチの大型ウェーハから小型の剛性基板まで幅広い基板をサポートしています。CERAUS ZX 1000は、手動スパッタ速度調整、高真空ポンプ速度、高度なガス混合機能、自動プロセス終了や緊急停止などの安全機能など、幅広いプロセスオプションを備えています。さらに、ULVAC Ceraus ZX-1000には、プロセスパラメータを制御し、プロセス結果を監視するための内蔵PCが搭載されています。高度な制御ソフトウェアは、ユーザーが薄膜蒸着要件の任意のタイプの資産をプログラムすることができます。ULVAC CERAUS ZX 1000スパッタリングモデルは、薄膜成膜のための業界で信頼されているプラットフォームです。あらゆる産業環境で高品質の薄膜を製造する柔軟性をユーザーに提供する信頼性の高い正確な機械です。Ceraus ZX-1000は、高度な技術と機能を備え、信頼性の高い超高性能薄膜成膜を実現するための理想的な選択肢です。