中古 ULVAC Ceraus ZX-1000 #196190 を販売中

ULVAC Ceraus ZX-1000は、薄膜材料を様々な基板に堆積させるために設計されたスパッタ装置です。このシステムは、高い純度、優れたステップカバレッジと優れた再現性を持つ付着膜を堆積することができるマグネトロンスパッタリング技術を利用しています。また、信頼性の高いプロセスコントロールマシンにより、高いプロセススループットを実現しています。このツールはリニアトラック設計を使用して、より高い蒸着速度で効率的なゼロポイントパフォーマンスを実現します。トラックには8 x 8インチの大きなプロセス領域があり、基板位置ごとに独立した位置調整が可能です。より精密なフィルム蒸着のために、各基板はポジショナー内で個別に調整することができます。このアセットには、スパッタ用の2つとオプションの蒸着チャンバの3つのプロセスチャンバーがあり、独立してまたはハイブリッドモードで動作して薄膜コーティングを最適化することができます。このモデルは、金属、合金、セラミック材料、有機材料など、さまざまな薄膜材料を堆積することができます。これは、スパッタリングターゲット、堆積排出量、およびプロセスガスの広い範囲を備えています。この装置はまた、真空排気システムを使用しており、in-situ bakeout機能を備えています。ULVAC CERAUS ZX 1000は、スキャンパターン制御を自動化した2次元および3次元の成膜パターンを実行する機能と、幅広いアプリケーション向けにさまざまなアーキテクチャを構成する柔軟性を備えています。ユニットは非常にユーザーフレンドリーであり、堆積中に精密な制御を可能にします。これは、迅速なセットアップと簡単な監視を可能にするための視覚的な操作画面を持っています。統合されたデータリンクは、ターゲットと基板の間の堆積データのリアルタイム転送を提供し、全体的な製品品質を最大化します。プロセスレベルを監視し、蒸着に最適な条件を提供するために電力と電流を調整することができます。設定は、プロセスの再現性のために保存および呼び出すことができます。Ceraus ZX-1000は超高蒸着率のために設計されており、半導体デバイスの製造から先端材料の試作まで、さまざまな産業用途に適しています。再現性に優れた高品質のフィルムコートを製造できる信頼性と効率の高い機械です。