中古 ULVAC Ceraus Zi-1000N #9053702 を販売中

ULVAC Ceraus Zi-1000Nは、ハイスループットスパッタリング用途向けに設計されたシングルチャンバースパッタリング装置です。このスパッタリングシステムは、均一なフィルム、厚さ、より高い速度、および改善された収率のために最適化されています。その革新的な先進的なデザインは、優れた生産性と低い所有コストを提供します。Ceraus Zi-1000Nは、ULVAC独自の周辺スパッタリングチャンバーユニットを採用し、高スループットスパッタリングを実現しています。このチャンバーマシンは、プロセスチャンバーの両側に大きなDCとパルスDC （PDC）マグネトロンを使用しており、イオン化された電子を陰極に注入してスパッタリング速度を向上させることができます。周辺スパッタリングチャンバーは、大きなスパッタリングエリアを生成し、ツールは非常に均一なスパッタリングプロセスを実行することができます。ULVAC Ceraus Zi-1000Nはオプションのイオンビーム補助蒸着（IBAD）機能も備えており、フィルム特性を最適化できます。IBADチャンバーは既存の生産チャンバーに改装されており、強力なイオンビーム源をアルゴンやキセノンなどの粒子種をスパッタリングされたフィルムにビームすることで、微細構造とフィルム硬度を向上させることができます。Ceraus Zi-1000Nはメンテナンスフレンドリーで、密閉された柔軟な環境が特徴で、ほこりが生産室に入るのを防ぎます。アセットには自動圧力制御もあり、操作とメンテナンスが簡単です。プログラマブルロジック制御（PLC）モデルとウェーハハンドリングロボットもダウンタイムを最小限に抑え、機器の中断を最小限に抑えることができます。全体的に、ULVAC Ceraus Zi-1000Nは、さまざまなアプリケーションに適した強力で汎用性の高いスパッタリングシステムです。高いスループット、均一なフィルム、歩留まりの向上、高度なPLCユニット、IBAD機能により、信頼性の高いスパッタリングマシンをお探しのお客様に最適です。